生物通

采用高真空Ar等离子体原位晶圆键合技术，制备低位错密度的Ge-on-SOI ...

高真空Ar等离子体激活键合技术结合5nm微晶Ge中间层和分步退火工艺，成功制备低 threading dislocation density（TDD≈10^5-10^6 cm^-2）且 ...